특허권 현황
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2023년 09월 21일
제 10-2583016호
MgO계 정전척 및 그 제조방법
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2020년 07월 27일
제 10-2140366 호
압축스프링이 결합된 알에프 로드를 갖는 세라믹 히터
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2019년 06월 19일
제 10-1993110 호
가압접합에 의한 고순도 정전척 제조방법 및 그 정전척
정부 국책 사업
| No | 사업명 | 과제명 | 연구기간 | 지원기관 |
|---|---|---|---|---|
| 1 | 구매조건부 시제품 개발사업 | 반도체 기판에서 고균일하고 정밀제어 가능한 Sputter 공정용 ESC개발 및 상용화 |
2022. 07 ~ 2024. 06 |
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| 2 | 광역협력권산업육성사업 (에너지∙워터 그리드 융합산업 글로벌 기술경쟁력 강화 기술지원사업) |
수처리용 세라믹 분리막 티타늄 산화물을 활용한 슈퍼 캐퍼시터용 카본나노튜브의 성능향상 |
2020. 02 ~ 2020. 07 |
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| 3 | 세라믹산업 생태계조성사업 | PVD 공정용 Glass 코팅방식의 정전기척 12인치 시제품 제작 | 2019. 10 ~ 2020. 02 |
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| 4 | 창업선도대학 육성사업 | 99.9% 고순도 고밀도 세라믹 소재를 적용하여 내플라즈마 특성을 향상시킨 웨이퍼 고정용 정전척 플레이트 개발 |
2018. 09 ~ 2019. 03 |
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