Repair process

1. Step.01

   사전 검사

   외관검사, 치수측정, 전기적 물성검사, 초음파 검사

2. Step.02

   수리 레벨 설정

   LEVEL 0 : Surface Treatment(Cleaning) + Inspection

   LEVEL 1 : Re-patterning or Heater & RF ROD Re-brazing + LEVEL 0

   LEVEL 2 : Surface Grinding & Re-patterning + Re-brazing + LEVEL 0

   LEVEL 3 : New AlN Plate Bonding + LEVEL 2

   LEVEL 4 : NEW Shaft Bonding + Re-brazing + LEVEL 0

3. Step.03

   수리프로세스 진행

   설비 이상유무 파악 후 진행
   취성, 물성 파악 후 진행
   오염, 파손 유발요인 제거 후 진행

4. Step.04

   제품 세정

   블라스트 세정
   엠보 패터닝
   케미컬 세정
   드라이 클리닝

5. Step.05

   최종검사

   외관검사, 치수측정
   전기적 물성검사
   초음파 검사, 열분포검사
   성적서 작성

• LEVEL 0 (L0)

  Surface Treatment(Cleaning) + Inspection

• LEVEL 1 (L1)

  Surface Treatment(Cleaning) or Heater & RF ROD Brazing + Al Mount(Option)

• LEVEL 2 (L2)

  Re-patterning + LEVEL 1

• LEVEL 3 (L3)

  New plate + LEVEL 2

• LEVEL 4 (L4)

  NEW Shaft Bonding + LEVEL 1

• NEW 개발문의

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