Repair process
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Step.01
사전 검사
외관검사, 치수측정, 전기적 물성검사, 초음파 검사
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Step.02
수리 레벨 설정
L1 : Bellows Welding (Option: SUS Shaft Welding)
L2 : Embossing PAD Re-coating + LEVEL1
L3 : 전극층 교체 + LEVEL 2
L4 : Ceramic Puck 교체 + LEVEL 2
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Step.03
수리프로세스 진행
설비 이상유무 파악 후 진행
취성, 물성 파악 후 진행
오염, 파손 유발요인 제거 후 진행 -
Step.04
제품 세정
블라스트 세정
엠보 패터닝
케미컬 세정
드라이 클리닝 -
Step.05
최종검사
외관검사, 치수측정
전기적 물성검사
초음파 검사, 열분포검사
성적서 작성
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LEVEL 1 (L1)
Bellows Welding (Option: SUS Shaft Welding)
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LEVEL 2 (L2)
Embossing PAD Re-coating + LEVEL1
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LEVEL 3 (L3)
전극층 교체 + LEVEL 2
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LEVEL 4 (L4)
Ceramic Puck 교체 + LEVEL 2
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NEW 개발문의
| PRECESS | PARTS NUMBER | SIZE |
|---|---|---|
| PVD | 0010-01286 | 200㎜ |
| PVD | 0010-01925 | 200㎜ |
| PVD | 0010-03254 | 200㎜ |
| PVD | 0010-15961 | 200㎜ |
| PVD | 0190-21764 | 200㎜ |
| PVD | 0010-27430 | 300㎜ |
| PVD | 0010-23066 | 300㎜ |
| PVD | 0010-07815 | 300㎜ |
| PVD | 0010-22985 | 300㎜ |
| PVD | 0010-27431 | 300㎜ |
| PVD | 0010-27983 | 300㎜ |
| PVD | 0010-49223 | 300㎜ |
| PVD | 0010-50943 | 300㎜ |
| PVD | 0010-24456 | 300㎜ |
| PVD | 0010-31581 | 300㎜ |
| PVD | 0010-33488 | 300㎜ |
| PVD | 0190-00382 | 200㎜ |
| PVD | 0010-22411 | 200㎜ |
| PVD | 0010-21764 | 200㎜ |
| PVD | 0010-21759 | 200㎜ |
| PVD | 0010-21758 | 200㎜ |
| PVD | 0010-17831 | 200㎜ |
| PVD | 0010-17812 | 200㎜ |
| PVD | 0010-13897 | 200㎜ |
| PVD | 0010-13895 | 200㎜ |
| PVD | 0010-12516 | 200㎜ |
| PVD | 0010-08750 | 200㎜ |
| PVD | 0010-04450 | 200㎜ |
| PVD | 0010-03366 | 200㎜ |
| PVD | 0010-01926 | 200㎜ |
| PVD | 0010-01166 | 200㎜ |
| PVD | 0010-00381 | 200㎜ |