Repair process
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Step.01
사전 검사
외관검사, 치수측정, 전기적 물성검사, 초음파 검사
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Step.02
수리 레벨 설정
L1 : Surface Treatment
L2 : Re-bonding + L1
L3 : New Plate + L2
LEVEL 4(L4): L3+Heater -
Step.03
수리프로세스 진행
설비 이상유무 파악 후 진행
취성, 물성 파악 후 진행
오염, 파손 유발요인 제거 후 진행 -
Step.04
제품 세정
블라스트 세정
엠보 패터닝
케미컬 세정
드라이 클리닝 -
Step.05
최종검사
외관검사, 치수측정
전기적 물성검사
초음파 검사, 열분포검사
성적서 작성
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LEVEL 1 (L1)
Surface Treatment
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LEVEL 2 (L2)
Re-bonding+L1
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LEVEL 3 (L3)
New plate+L2
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LEVEL 4 (L4)
L3+Heater(개발중)
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NEW 개발문의
GLASS coated chuck
Plasma Spray coated chuck
Ceramic Plate ESC
| PRECESS | PARTS NUMBER | SIZE |
|---|---|---|
| Etch | 0010-16392 | 300㎜ |
| Etch | 0040-39990 | 200㎜ |
| Etch | 0040-45164 | 200㎜ |
| Etch | 0190-23942 | 300㎜ |
| Etch | 0041-26723 | 300㎜ |
| Etch | 0041-09247 | 300㎜ |
| Etch | 0010-47763 | 300㎜ |
| Etch | 0010-50850 | 300㎜ |
| Etch | 0010-56651 | 300㎜ |
| Etch | 0041-64761 | 300㎜ |
| Etch | 0040-77771 / 019-07958 | 200㎜ |
| Etch | 839-440462 | 200㎜ |
| Etch | 839-800327-315 | 300㎜ |
| Etch | 839-019090-324 | 300㎜ |
| Etch | 839-019090-328 | 300㎜ |
| Etch | 839-019090-374 | 300㎜ |
| Etch | 839-800327-385 | 300㎜ |
| Etch | 839-800327-4XX | 300㎜ |
| Etch | 839-800327-577 | 300㎜ |
| Etch | 839-019090-608 | 300㎜ |
| Etch | 839-019090-611 | 300㎜ |
| Etch | 839-102001-136 | 300㎜ |
| Etch | 839-102001-069 | 300㎜ |
| Etch | 3D10-10388-11 | 300㎜ |
| Etch | 2L10-150079-13 | 300㎜ |
| Etch | 2L10-151441-11 | 300㎜ |
| Etch | 1D10-100956-12 | 300㎜ |
| Etch | 2-821454-XD | 200㎜ |
| Etch | 2-826194-XC | 200㎜ |
| Etch | 1A1380001 | 300㎜ |
| Etch | 15-270165-00 | 300㎜ |
| Etch | 02-293830-00 | 300㎜ |
| Etch | 02-142398-00 | 300㎜ |